小型二合一鍍膜儀 TN-EVS180G-LV

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產品型號:TN-EVS180G-LV
 牌:泰諾
公司名稱:鄭州泰諾薄膜材料有限公司
  地:河南鄭州
發布時間:2019-05-30
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產品簡介

等離子濺射和蒸發二合一鍍膜儀配備了直流濺射靶和熱蒸發組件,不但可以用于等離子濺射方式鍍金屬膜,也可以用蒸發的方式得到碳或者其他金屬單質的薄膜。儀器元件高度集成化,在同一個腔體內即實現了兩種鍍膜功能;該小型二合一鍍膜儀采用高純石英腔體作真空腔體,鍍膜過程完全可見。儀器標配雙極旋片真空泵,能夠快速達到1.0E-1Pa的真空度,可滿足大多數蒸發鍍膜實驗和二極濺射實驗所需的真空環境。本小型二合一鍍膜儀體積小,節省空間,能夠置于試驗臺上使用,一機多用,性價比突出,非常適合各大高校及研究機構選用。

產品詳細信息

小型二合一鍍膜儀適用范圍:

掃描電鏡樣品表面噴金、蒸金噴碳等操作,以及非導體材料試驗電極的制作等。

小型二合一鍍膜儀技術參數:

小型二合一鍍膜儀

樣品臺

尺寸

φ80mm

至蒸發源間距

20mm~50mm可調

直流濺射頭

數量

2”×1

 

 

蒸發系統

蒸發源

鎢絲籃

*高溫度

1700

熱電偶

S型熱電偶

 

 

真空腔體

腔體尺寸

φ180mm×100mm

觀察窗口

全向透明

腔體材料

高純石英

開啟方式

頂蓋拆卸式

真空系統

機械泵

旋片泵

抽氣接口

KF16

真空測量

電阻規

排氣接口

KF16

極限真空

1.0E-1Pa

供電電源

AC;220V 50/60Hz

抽氣速率

旋片泵:1.1L/S

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